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离子束抛光属于原子量级上的无应力、非接触式抛光。

从基本原理上来理解,就是在真空状态下,利用具有一定能量的惰性气体离子,比如氩气离子,去轰击工件表面,通过物理溅射效应去除表面材料。

蔡司利用离子束抛光技术制作了离子束抛光装置,这属于他们的机密产品买不到,其中还需建立多层膜,可以降低晶粒扩散时的反射率,从而打造更小的粗糙度,硬生生把这项技术推向了物理极限,能打破物理极限的东西可能只有魔法了。

看着在长春光机所忙碌的专家们,路阳帮不了忙,他也试过了触摸各种设备,没任何反应,原因应该是这一套设备没有形成固定的生产线,还处于研究阶段。

廖老带着人从工作间出来,对路阳说道:“走吧,出去接人。”

来到大门外,只见两台黑色商务车上下来4个人,其中两名看起来比较年轻的魁梧壮汉戴着墨镜,蓝牙耳机,路阳猜测应该是保镖。

另外两人年纪都在50岁左右,一男一女,都戴着眼镜,皮肤粗糙,穿着普通的休闲外套。

“廖老,您好,我们是23所的,奉命来提供研究协作。”

开口的男人个头挺拔,声音苍劲有力,一看站姿便知是部队出身。

“你好,我就是廖锡昌,感谢两位,不知怎么称呼?”

男人笑道:“我叫柴文政,她叫丁冉。”

女人上前打招呼:“廖院士您好!”

“走吧,我们边走边说。”

从大门到工作间有3分钟路程,廖锡昌向两人介绍了基本情况,两位黑衣保镖检查完工作间后守在门外。

柴文政也是临时接到上级的命令,来之前并不清楚具体是做什么的,只知道对方需要离子束技术方面的帮助,原以为会很简单,毕竟这个领域,23所是最强的,并被授权可以开放技术。

“离子束抛光技术吗?与我们的方向有重合,但又不完全一样。”柴文政说道,拿起廖老给他的资料。

丁冉翻了几页技术资料,皱眉说道:“不光抛光技术,还设计到多重镀膜,廖老您这边需要我们怎么配合。”

廖锡昌也没藏着,“第一,协助我们把资料上这些技术实现,第二,在离子束抛光方面是否能利用23所的技术完成替代,绕开专利。”

资料上并未标注来源,仅仅只是镜片制造工艺,柴文政忽然说道:“我们这是打算造EUV光刻机?”

这么点资料,能快速判断出最终目的,一旁的路阳表示佩服,看来又是做捧哏的一天。

廖锡昌点点头,“长春光机所这边负责光学系统,镜片与镜头组装,镜片用来实现13.5纳米极紫外光源的可利用性。”

“极紫外光太容易被吸收了,连空气都能把它完全吸收,必须在真空环境才可以实现反射。”丁冉边看资料边说。

“下午大连光源的同事也会赶到这边,我们这个专项小组一共24人,过来的有12人,这是光刻机最难的开始。”

柴文政低头沉思,果然如他所料,只有EUV光刻机这种级别的研究,才可能触动他们,但这任务可不是短期内完成的,他并不清楚手上资料的来源,但越翻越心惊。

“0.02纳米的平滑度,这已经小于原子级了。”柴文政惊呼道,脸色大变。

丁冉一听,拿过柴文政手上的资料,“我的天,0.02纳米,廖教授,你们太了不起了,23所现在也就在0.1纳米级别。”

路阳拿着本子假装在一旁记录,实则暗自观察23所的两人,果然名不虚传,与廖老的交流都能直指要害,没有一点架子,直来直往,看来他们的研究氛围一直如此。

两小时后,大连光源的人赶到,这次是路阳出去迎接,也是两人,仍然是一男一女的配置,年龄都在40左右,果然是男女搭配,干活不累吗?

“周哥、纪姐这边请,廖老正在实验室,二位远道而来,辛苦了。”

“哦,你们叫我小路好了。”

男人姓周名宇,今年42岁,标准国字脸,书卷味浓烈。

女人纪益玲,39岁,温文尔雅,保养得不错,他们跟23所差不多,对要做的工作完全不清楚,接到的任务就是全力配合,不得有任何隐瞒。

一番寒暄后,路阳领着两人来到工作间,廖老很快把这次的目的说清楚,

“小周跟小纪看起来都很年轻,不错,大连光源有你们这样年轻的技术力量,未来可期。”

然后转头又对23所的两人说道,“走吧,想着等大连光源的两位同志到后一起查看设备,免得同样的工作要做两次。”

周宇跟纪益玲现在才了解情况,听到一旁的两位是来自23所的,肃然起敬,虽然负责的方向不一样,但不能给大连光源丢人是两人相同的想法。

1小时后,查看完所有的设备,小组成员跟4位外援来到会议室,开始第一次会议。

“各位都是来自你们领域的专家,这次聚到一起,最终目的是为了实现EUV光刻机从0到1的突破,欧米花了几十年研制出来的东西,我们需要在短时间内攻破,这项任务的难度不用我再重复,申城那边正在建立生产线,留给我们的时间不多。”

“规矩我再说一次,不要去问资料的来源,不要去问为什么会这么赶,目的也非常清晰,拿出老一辈的那种科研开拓精神,我们一定能突破难关。”

“这位小路,是我的学生,同时也是苏硅半导体最大股东,华芯投资董事长,苏硅已经实现了90纳米dUV光刻机的完全自主化研发,现在已经在量产45纳米芯片,供新能源汽车使用,打破了多项技术封锁,整个项目的资金来源就是他。”

廖老首次公布了路阳的身份,小组的成员们与路阳相处时间不短,从没想过这样一个普普通通学生模样的人,居然是项目的金主,而且已经取得如此巨大的成就,大家都是搞科研的,自然明白dUV光刻机的自主化研发意味着什么。

所有人看向路阳,像是重新认识般,神情各异。

“各位老师好,我叫路阳,马路的路,阳光的阳!”

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