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华芯晶圆厂是长三角半导体产业带的核心,尽管5000亩的占地面积并不算广,但其周边的大部分半导体企业都是围绕其建造起来的,从年前立项开始便成为了申城市最重要的项目工程之一,重要程度甚至不亚于特斯拉的超级工厂,毕竟这算是华国自己家的企业。

年前路阳说了自己负责,会亲自盯着,但计划赶不上变化,华芯微电子那边光刻机投产后,周怀义便把重心放到了这边,晶圆厂第一期已经开始动工,整个园区的基础建设也做得差不多了。

“怀义啊,听说小路今天回来?”廖老戴着安全帽,问道。

“下午就到,前两天华微的晶圆厂动工,他参加了奠基仪式。”

“那就好,把这小子放在晶圆厂我也不放心,他应该去做更重要的事情。”

周怀义四下看了下,低声说道,“主要还是bYd那边的问题,路阳给他们把固态电池技术给搞出来了,这事还比较复杂,对新能源汽车的影响很大。”

廖老点点头表示认同,“郎部跟我说了这件事,还征求过我的意见,下一个方向究竟选择什么,一时半会还不能确定。”

“这事,我觉得还是要参考下小路的意见,这小子就喜欢把问题抛给上面。”

“对了,听说28纳米光刻机试验机已经下线了?怎么样?”

周怀义笑道,“这您就放心吧,华洪的张总整天在守着,这两天在做最后的测试验证,没问题的话,月初就开始量产。”

“镜片那边的事情解决了?”

“没呢,产能还是提不起来,现在华芯光学跟申城微电子两家都在集中攻克,白院士做技术总顾问,23所的两位老师也跟着一起,我相信距离量产应该快了。”

白学礼教授因为在光学镜片上的贡献,成功入选2018国家院士评选,周怀义特意改了称呼。

周怀义接着说道,“廖老,只是这样一来,EUV的进度会不会滞后啊!”

廖老无奈道,“光学系统的算法迟迟不能突破,专家小组现在也没办法进入下一步,抽出些时间来帮忙也是好事,算是给他们放松放松。”

“廖老,我对EUV的了解也只知皮毛,是不是只要我们这个光学系统的算法搞定了,剩下的都简单很多。”

“怀义,我知道你忙,可也得抽时间了解下,这方面你就不如小路好学了。”

周怀义尴尬笑道,“这不是年纪大了吗,没年轻人记性好,我就记得每秒5万次轰击液态锡,光是想象都觉得这超出了人类极限。”

“哈哈,严格算起来是10万次,第一次是把液态锡打薄,让其散开来,获得更大面积,第二次再击打可获得更多的光能,这两次击打的光能要求还不一样,然后在一秒钟内重复5万次这样的击打过程。”

周怀义给廖老点了支烟,自己也点燃一支,深吸了一口,“这真不是人能干的活。”

“所以需要数学模型来控制,华科院那边为此已经设计了上百个数学模型,然后用超算验证筛选,还是没找到,这个过程需要的时间完全无法预估。”

廖老解释道,“不只是华科院,国内大部分的数学专家,现在都在帮忙设计模型。”

“哎,光学组的同事们最近压力很大啊,所有小组都在等着他们,这一步跨不过去,其他的工作无法开展,就算突破了,其他方面也肯定会出现问题,不过难度估计会小很多。”

“为什么不让路阳试试?”周怀义问出了自己最关心的问题,在他心目中,路阳的能力能解决这一切。

“试过了,EUV光刻机的制造资料本就是他那里出的,有给对应的控制技术,可惜的是资料只给了结果,默认我们能明白,没给具体的过程,现在我们就是在还原这个过程。”

“怀义,你也不用太急,EUV晚些出来也好,现在问世对西方的刺激就太大了,说不好他们会发什么疯。”

两人在工地上抽着烟,聊起现在华芯的整体进度,距离他们不远处,有接近10人的安保人员,这是最近增加的,可见局势并不稳。

路阳与应若涵赶到工地时已经下午3点了,看着已经建起的厂房,路阳再次感叹申城建工的恐怖速度,2个月时间就把厂房给盖起来了。

“抱歉,张老,没能亲自去接您,怠慢了。”看着头发已花白的张老,路阳发自内心的感激。

“小路客气了,华芯现在的条件,比我们当初优越太多,想当初我是一边满世界收集二手光刻机,一边还要跑投资,还得盯着厂区建设。”

张老现场给众人介绍起晶圆厂的建造特殊性,这可不是一般工程公司能完成的。

结构要防微震的,涂料要防掉屑的,厂房要修3层的,中间无尘洁净室,上层风机过滤机组,下层各种管道系统。

另外还有电力系统,仪控系统,超纯水系统,特气供应系统,化学品供应系统。

无尘车间和厂务系统建好后,接下来就是设备的安装了。

当然核心的就是光刻机,剩下的就是轨道机,刻蚀机,薄膜沉积设备,然后就是扩撒炉,氧化炉,cmp,离子注入机,湿法清洗,量测设备等。

晶圆厂设备成本就占总投资的70%以上,好在华芯的设备大部分都是自己制造的,这块可以控制到60%左右,但是大量的光刻胶、化学品,特种气体等原料就要占10%左右,水电能源占比6%左右,其他方面如人工成本,设备检修折旧之类的占比也很大。

所以晶圆厂一旦建好就不能停下来,这才是真正分分钟几百万的事。

好在来前应若涵给路阳补了课,要不然张老介绍的这些他还不一定能听得懂。

周怀义更是默默的拉远一定距离,大脑一片浆糊。

廖老笑道,“哈哈,看你们那是什么表情,不懂就问才是好学生,张老做这块快大半辈子了,你们才多久。”

张老跟着笑了起来,“也不用每一样都必须了解,前两天廖老带我看了苏硅的生产线,你们只需要把这里当成是那边的放大版就行了,现在唯一让我担心的是辅助设备的国产化是否能达得到要求,苏硅的设备除光刻机外,其他的大部分是改造而来。”

周怀义补充道,“蔡总在负责这方面的事,去年我们基本上把技术都分享出去了,大部分的设备都按照我们的要求生产出来,现在已经有部分设备在等待验证了。”

“光刻胶呢?”张老忽然问道。

路阳不好意思的挠了下头,“华芯九天这边正在加紧研发,现在我们还在使用以前的囤货。”

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