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祁海义继续给陆离介绍SSmb,“在了解SSmb前,小路你知道加速器光源吗?”

路阳摇摇头,不懂就是不懂,没必要隐瞒。

“早在1947年,科学家就发现了同步同步辐射,接近光束的电子在磁场中做偏转运动时,沿运动轨迹的切线方向,会有辐射,对于电子来说,这个辐射,就是光子。”

“从量子电动力学的角度看,量子做加速运动时,会损失能量,而这部分损失的能量,会以光子的形态辐射出来,这种辐射出来的光具有很高的亮度,能普非常宽,准直性也比较高,具有很强的科研与产业应用价值。”

祁海义的解释非常通俗易懂,从70年代后,就出现了这种同步辐射的存储环,而这个存储环就是一个大型的电子加速器,电子被加速到接近光束后,就射入布满磁铁的环中,在洛伦兹力的牵引下,就开始做圆周运动。

这时就会发射出辐射光,但这个辐射光非常散,而且强度很低,于是科学家又加了一个叫波荡器的组件来增强光源。

波荡器就是一些极性交替变换的磁铁阵列,可以改变电子的速度,电子速度的改变就意味着它能态的变化,因此就伴随着辐射的产生,于是就有了光。

但是一连串的电子被射入后,它发出的光,可能并不在一个波段内,比较乱,所以需要提升辐射光的相干性。

为了产生显着的干涉现象,光源需要在横向与纵向具备产生相干性,这样光源叠加起来强度才会变大,单色性才会变好。

单色性就很容易理解了,紫外光就是最好的例子。

当你把一个电子发射进去后,通常都不会产生波长一致的光源,但是它们会分布在一个波段里,如果我们需要一个特别波段里的光源,就必须得降低带宽,让所有光子都在一个特别的波段附近,这样就可以得到这个波长的单色光。

廖老与路阳两人都听得十分投入,祁海义就更加有精神了。

“传统的辐射光源由于电子数比较长,就导致相干性非常弱,直到后来出现了自由电子激光技术,可以使辐射光自放大,自辐射,这种技术可以产生微聚束,峰值亮度都要比辐射光源强很多,至少有8-10个量级的提升。”

“所以说,微聚束的光能是可以用于光刻机的,对吧,这么大的量级。”廖老问道。

“确实如此,光能上是足够的,但是这种自由电子光源的稳定性很差,实现的技术原理也非常复杂,所以老唐一直在寻求解决办法,这就是SSmb项目的目的。”

原来如此,路阳听懂了,一旦SSmb项目能获得成功,那么就可以通过这项技术获得光能足够且稳定的光源。

核心底层原理就是电子加速后产生辐射,辐射产生光。

祁海义继续介绍道,“加速器选择是多样的,可以是圆环状,也可以是直线的,SSmb使用的就是圆环状,自由电子激光是直线的,这个项目不仅能为光刻机提供光源,也为其他光学行业提供各种波段的光,覆盖的波长范围非常广。”

路阳笑道,“有点像发电厂,如果没猜错,唐教授这个项目应该不是一个小型装置了,而是一个厂房,能生产各种波长的光,然后提供各个行业。”

“哈哈,小路这比喻非常到位,唐教授就是这个想法,当然,EUV所需要的光源是13.5纳米,算是极限了,不过SSmb理论上还可以把这极限再压缩,生产出比13.5纳米更短的波长光源。”

路阳是真的被这个技术震撼到了,这是一个真正的弯道超车机会啊,他恨不得马上就到清大去拜访唐教授。

这个技术一旦成功,那么基本上现在的任何制程芯片所需的光源都能被解决,限制产能的镜片就不需要了。

作为华国光刻机方面的领军人物,廖老自然不会放过这个机会,但同时也知道距离还非常远。

“SSmb如果研发成功,接下来只需要研究如何引导光源进行光刻,这是一个全新的体系,并不是一台一台的光刻机,甚至有机会把它做到光刻生产线,说是光刻厂可能会更加贴切。”

这,廖老这想法直接点醒了路阳啊,还要什么光刻机!直接就搞光刻厂了,产能方面绝对大于光刻机,不行,必须得尽快去次京城,SSmb并非是为了光刻机而立的项。

“老唐虽然把这个项目立项了,但是我认为他的应用太广了,市场支撑不起,这样就会缺乏落地,缺少资金。”

祁海义看向路阳,如果老唐那边愿意把方向往光刻机方面靠,那华芯一定会投资。

“老廖你说得没错,我过来这边后也跟老唐通过几次电话,半导体芯片可是几万亿级别的市场,如果把方向集中,一定能产生意想不到的效果。”

“祁教授,现在项目是在清大还是在紫光手上?”

听到路阳如此询问,祁海义心中一喜,立刻说道,“在校方,今年紫光的项目很多,忙不过来。”

路阳看了眼廖老,“老师,如果华芯投资这个项目,您觉得如何?”

考虑片刻,廖老双眼露出坚定,“是个不错的选择,这才是真正的超越,以华芯现在的体量,完全能支撑起如此庞大的项目。”

“太好了,我立刻跟老唐说这事!”说完话,祁海义竟然就直接走出廖老办公室,去跟对方打电话了。

看着祁教授的背影,路阳不禁感慨,“科学家的执行力,还真是强啊!”

“校方那边我也会打招呼,这是好事,下次芯片小组会议,你直接提出来,我会在后面支持你,程部他们会同意的,不过你得考虑清楚,我建议是与清大这边成立一个公司,把项目划进公司,学校里的体系很复杂,有时候反而会拖累进度。”

“好的,我明白!”

以紫光吴总的眼界,不可能想不到SSmb对于半导体的好处,为什么唐教授还需要那么长时间才能正式立项,这中间牵扯的事情一定非常复杂。

不过都无所谓,路阳会出手!

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