见到眼前的张坚仁此时暴跳如雷，刘希轮和邱梦生交换了一下眼神，随后起身告辞。
下午的时候，邱梦生将张坚仁的原话如实地向张君正做了汇报。
张君正呵呵一笑道：“这位张董骨子里还是瞧不上我们呀！”
他看着邱梦生说道：“我们还要继续努力，设计开发制造出更多的高端芯片才行。”
邱梦生点点头。
“张董，东积电集团那边现在正在和尼德兰那边的艾斯麦尔公司合作研发这种193纳米浸没式光刻机技术方案，他们已经在这种光刻机设备上开始开发相关的光刻工艺，我们是不是也进行跟进？”
邱梦生此时看着张君正开口问道。
“不用。”
张君正开口说道：“现在我们自己这种稳态微聚束光源系统正在开发原型机，再过个两到三年时间后我们就可以在这个光源系统上开发新型的EUV光刻机设备和相关的光刻工艺技术。”
之前张君正设计构思的这种融合了同步辐射光源和自由电子激光器两种系统的稳态微聚束光源系统技术概念通过唐思德这位高能核物理科学家带领的数十人科研团队对他提出来的这种技术概念在实验室里面搭建设实验设备得到了验证，证明了这个技术理念是可以行得通的。
现在唐思德带领的技术团队正在设计开发一套小型的稳态微聚束光源系统的原型机，原型机需要的电子枪、加速器、激光器等核心部件系统已经开始研制。
而张君正现在大部分精力也放在了这套原型机的设计研制当中，毕竟这关系到君正科技公司接下来十几二十年在芯片制造技术领域的前途命运，他自然是高度重视的。
目前这些半导体设备产商其实更多地是看重这种157纳米波长的光刻光源系统，不过这种光源波长很不好用，并且用这种光源系统在镜头、光刻胶、光罩等诸多环节上都能难倒一大片国外技术高手。
东积电集团内部的这位几年前加入的光刻技术专家林凡谷提出了这种193纳米浸没式光刻技术理念，并且在数年时间里面通过跟艾斯麦尔公司的合作开发出了光刻机样机。
这种技术方案很巧妙地利用193纳米波长光源通过纯水折射后将波长缩短到了132纳米，而且避开了所有157纳米的困难，可谓是极为巧妙的技术路线！
不过目前东积电集团和艾斯麦尔集团在共同研发当中已经申请了大量的技术专利，再加上这种技术方案理论上只能将芯片制程工艺推进到十纳米左右，再想继续推动芯片制程工艺的进步就只能用亚米利加国那家光源技术企业的13.4纳米波长光源技术方案了。
当然，现在得加上君正科技公司正在研制的这种稳态微聚束光源技术方案。
唐思德等人跟张君正在实验室里面搭建的原理样机出光后获得了27纳米波长光源，最短波长可以做到10纳米，不过这样的原理试验台系统功率非常小，只有几十纳焦的水平。
但是这套原理样机却让唐思德和张君正等人狂喜不已，并用这套原理样机做了相当多的试验测试，获得了唐思德和张君正之前非常想要的实验数据。
虽然说要想让接下来的光源系统原型机实现稳定可靠长时间工作还需要进行大量的技术攻关，不过这个技术方案已经见到了曙光，张君正是无论如何也要将这种技术路线的光刻机设备给做出来的！
至于这种193纳米波长的浸没式光刻机技术路线，君正科技公司只要保持技术跟踪就可以了。
东积电集团和艾斯麦尔合作研发出来的这种193纳米浸没式光刻机设备制造出来后又不是买不到，如果中间实在是买不到的话，张君正还是有自信让自己的技术团队仿制出来的。
次日在京城半导体协会举办的论坛上，满头白发的张坚仁出席了这次的会议。
看到他的亮相，一众媒体记者纷纷围过来进行采访。
“张先生，请问您对参加这次大师讨论会有什么想法？”
“呵呵，我对这次受邀出席这次的大师论坛还是感到很荣幸的，也想跟内地这些半导体行业的优秀人才交流一下。”
张坚仁此时笑着说道。
“张先生，请问您对东积电集团现在起诉华芯国际公司技术专利侵权的事情是如何看待的？”
“东积电集团内部现在还在华芯国际公司之间进行沟通。”
张坚仁此时开口说道：“截止到现在，我们东积电集团还是没有放弃跟华芯国际公司之间达成和解的大门……”
“张先生，现在有专家批评东积电集团在这个时候起诉华芯国际公司是在刻意打压国内半导体产业的发展，您对此如何看待？”
“我们东积电集团起诉华芯国际公司是纯粹的商业行为，完全没有其他的因素在里面！”
面对这位记者犀利的提问，张坚仁此时收敛起脸上的笑容说道。
“目前华芯国际公司在芯片代工方面营收只有东积电集团的四分之一不到，比东番岛另外一家东联电集团芯片代工业务营收还要少，东积电集团为何不起诉后者，偏偏要起诉华芯国际公司呢？”
“你的这个问题涉及到我们东积电集团的商业机密，我不方便回答。”
张坚仁摆摆手，随即匆匆结束记者的采访，在助理的帮助下进入会场。
“刚才是你故意安排记者想刁难我吧？”
进入会场后，张坚仁见到刘希轮后一肚子的火。
刘希轮看了他一眼，“你在说什么呢？我有必要做出这样的事情吗？”
张坚仁冷冷地看了刘希轮一眼，冷哼了声。
“张先生，欢迎你出席这次论坛活动呀！”
此时科技部部长许君聪在邱梦生等人的陪同下过来，见到张坚仁后他笑着跟后者握手。
张坚仁对这位许部长自然是不敢怠慢，笑着开口道：“许部长，您都出席了这次论坛，我怎么没见到君正科技公司的这位张董过来？”