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周博和姜明尚站在无尘车间的观察窗前,注视一块高纯度硅锭被送入切割台上。

硅片厂生产线还没有投产,眼前的硅锭是从沪江运送过来,用于试生产的,

随着巨大的金刚石切割刀缓缓落下,硅锭被切成一片片薄如蝉翼的晶圆。

这些晶圆将被送往下一个车间,进行打磨和抛光。

接下来就是光刻工序,也是整个制造过程中最核心的环节。

姜明尚皱眉道:“前几道工序都没问题,但光刻车间的良品率始终上不去。

我研究了几天,始终没找到问题所在。”

周博笑道:“万事开头难,GK-1是第一台光刻机,有问题很正常,没问题才奇怪。”

两人一边说着,一边来到光刻车间。

车间中央横置着一台庞然大物——GK-1干式光刻机,几名技术人员正围在操作台前。

“怎么回事,又是图案粘连!”一名技术人员苦恼道。

“会不会是光刻胶有问题?”

“不应该,都是一样的调配流程,在沪江好用,到了粤州就出问题?

没道理呀!”

“是呀,真特么见鬼了!”

“原来的流水线不是挺好吗,一做成整机就出问题,自找麻烦!”有人抱怨道。

“整机在沪江测试过,也没问题呀!”

“到底怎么回事呢?”

众人议论纷纷,看到周博和姜明尚走过来,立刻向二人打招呼。

“周总工,姜总工!”

都是电子厂的老人,还是习惯用以前的称呼。

姜明尚问道:“怎么样,这次良品率多少?”

“10片芯片,只有1片能用,其他全部出现图案粘连现象!”

10%!

这良品率实在有点可怜。

周博也皱起眉头。

光刻机在沪江时测试过的,怎么到了粤州就水土不服?

“给我看看!”

一名技术员将一块刚下线的芯片递了过来。

周博来到显微镜前,将芯片放在物境前固定好,看了起来。

镜头中,本该清晰的晶体管线条像被水晕开的墨迹,模糊成团。

这就是所谓图案粘连。

看完之后,周博没有说话,走到了光刻机的操作台前。

暗暗在脑海中发出指令。

“分析GK-1光刻机···”

【叮!】

【系统分析开始···】

【光刻机型号:GK-1】

【分析结果如下:】

【1.光源系统正常。

2.对准与调焦系统正常。

3.双工件台系统正常

4.掩模输运与定位系统正常···】

系统分析完毕,光刻机一切正常。

周博叹了一口气,心中也犯了难,问题出在什么地方呢?

系统也不是万能的,现在要靠自己定位问题了。

“大家有什么看法!”周博先询问众人的意见。

姜明尚道:“每次都出现图案粘连,我还是怀疑光刻胶有问题。

但是又查不出来!”

周博点点头。

现在他们所用的光刻胶,是从鸡蛋清里提取出来的,调配过程是周博经过多次实验确定下来的。

一年多来,在电子厂车间产线上使用,从来没出过问题。

之所以用鸡蛋清,多少有点无奈,光刻胶这东西虽然不起眼,但技术含量可不低。

要从零开始批量制造,也是相当麻烦,所以周博才用了妥协的鸡蛋清方案。

想了想,周博一时也难以确定问题所在,只好道:“把流程重新走一遍吧!”

“好!”

随即,众人取出一块晶圆片放入光刻机中,启动光刻工序。

光刻机内,汞灯光源射出紫外光,透过自制透镜组,再透过掩膜版,将电路图案投射到涂有鸡蛋清光刻胶的晶圆上。

在硅片表面刻画出比头发丝还要细千百倍的电路图案。

周博出神地注视着光刻机,思维跟着工序流程快速思考。

是振动问题?

空气洁净度不够?

热胀冷缩?

脑海中不时蹦出一个个想法,但又随即否定···

半个小时后,光刻工序完成,几块芯片新鲜出炉。

随即拿到显微镜下一看,还是图案粘连!

姜明尚苦笑:“真是活见鬼了!”

此时,周博拿着一块芯片左右端详,眼神渐渐明亮起来。

“姜工,我觉得你的猜测是对的,应该还是光刻胶的问题!”

周博语气笃定地说道。

“可是配置流程是完全相同呀!”

“我知道,流程一样,但成分可能不一样。”

“你是说蛋清成分不一样?”姜明尚脸色表情有些古怪。

这也太扯了!

周博点点头,笑道:“这粤州鸡和沪江鸡饮食不同,生活环境也不同,蛋清有差别很正常!”

众人听完这一番解释,都有些哭笑不得。

“那应该怎么办,从沪江运鸡蛋过来?”

这事想想就有点搞笑!

“不必,我有办法,去弄一下草酸盐来!”

“草酸盐?做抗凝剂吗?”姜明尚诧异道。

“没错,你反应真是快!”

“行,马上去搞一些草酸盐!”

事情总算有了头绪,众人兴奋不已。

随即,派人却去粤州城内买到了草酸盐,然后重新用筛网过滤蛋清,剔除杂质,调配光刻胶。

接着,重新涂刷新配光刻胶,然后再次进行光刻工序。

这一批芯片完成时,时间已经是深夜。

但一群人没有一点困倦的表情,个个精神抖擞。

芯片下线后,姜明尚抢过一片就来到显微镜前。

显微镜下,一条条电路线竟清晰如刀刻。

姜明尚激动不已,“这片好的,换一片!”

“这片也合格!”

“这片有问题,再换一片!”

“合格!”

“合格···”

这一批次芯片,良品率达到了70%。

众人顿时欢呼起来,几个技术员兴奋地把周博抱起,抛向空中。

“行了,行了,放我下来吧!”

被众人放下后,周博也非常兴奋。

芯片制造是高精密,高度复杂的过程,即便在后世,很多国际大厂也经常被良品率的问题困扰。

这次能顺利解决,也给了周博很大信心。

“到底是什么原因呀?”众人好奇地问道。

周博笑了笑,“因为鸡蛋清成分的细微差别,以及气温、湿度等差异,蛋清中的蛋白质分子在显影时形成胶体团,堵塞电路间隙。

加入抗凝剂后,胶体团无法凝结,自然就解决了!”

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